Nanorakenteita nopeasti ja edullisesti
0
VTT ja ranskalainen SUSS Microtec S.A.S. ovat kehittäneet uuden kaupallisen nanokuviointilaitteen, jolla voidaan valmistaa esimerkiksi taipuisia aurinkokennoja ja erittäin pienikokoisia bionanalysaattoreita edullisesti ja nopeasti. NPS300-laitteen prototyyppi on jo VTT:n käytössä.
Step and Stamp Imprint- litografiaan (SSIL) perustuvassa laitteessa käytetään kuvioitua piisirua leimasimena, jonka kuviot siirretään polyymeerikerrokseen painamalla. Laajalle alueelle kuviot saadaan kopioitua askeltamalla ja toistamalla painamista.
Käytettävät polymeerit voivat olla sekälämpömuovattavia ettäultraviolettivalolla kovetettavia. Kuvioitua polymeerikerrosta voidaan käyttää esimerkiksi etsausmaskina piitätai kvartsia kuvioitaessa. Menetelmällä voidaan monistaa nopeasti ja edullisesti pieniä, alle 100 nanometrin kuvioita laajalle alueelle.
Vanhat menetelmät hitaita ja kalliita
Perinteisesti nanomittakaavan kuvioita on tehty elektronisuihkulitografialla, mutta se on hidasta. Muilla mikroelektroniikassa käytettävillä laitteistoilla ja menetelmillä voidaan tuottaa alle sadan nanometrin viivanleveyksiä, mutta laitteet ovat erittäin kalliita.
Uusi laite soveltuu optisten ja sähköisten sekä biomateriaalien nanokuviointiin. Lisäksi sillä voidaan kuvioida suoraan kolmiulotteisia rakenteita. VTT kertoo tuottaneensa jopa alle 10 nanometrin kokoisia kuvioita.
Nanokuvioinnin käyttöalueita ovat esimerkiksi biotekniikka, fotoniikka, nano- ja polymeerielektroniikka, kovalevyt ja sensorit.
