VTT:n puhdastila uudistettiin miljoonaremontilla
0
VTT kertoo, että se helmikuussa tulipalossa pahoin vaurioitunut puhdastila on jälleen saatu 13,5 miljoonan euron remontin jälkeen käyttökuntoon, ja samalla puolijohdelaitteistot on uusittu paremmiksi. Espoon Otaniemessä sijaitsevan Micronovan puhdastilaa käytetään mikroelektroniikan ja myös nanoelektroniikan tutkimuksessa.
Tulipalossa vaurioitunut 1100 neliömetrin puhdastila kärsi huomattavat vahingot, sillä tilan uudelleenrakentamisen ja kalustamisen kustannukset nousevat noin 13,5 miljoonaan euroon. Vaativien tutkimuslaitteiden kunnostaminen ja korvaavien laitteiden hankinta ovat muodostaneet valtaosan kokonaiskustannuksista.
Uudet laitteet nostivat hintaa
Tulipalossa tuhoutuneiden tutkimuslaitteiden tilalle on hankittu suorituskyvyltään vastaavat laitteet. Merkittävänä parannuksena voidaan pitää siirtymistä 100 millimetrin kiekkokoosta 150 millimetrin kiekkokokoon integroitujen piirien ja puolijohdekomponenttien valmistuksessa. Tämä parantaa VTT:n yhteistyömahdollisuuksia teollisuuden kanssa.
Ilmastointi sekä suurin osa tulipalossa vaurioituneista puhdastilarakenteista on täysin uusittu. Uusien ja kunnostettujen tutkimuslaitteiden asennustyöt ovat käynnissä, ja prosessien ylösajo rinnakkain laitteiden asennustöiden kanssa on alkanut. Tilan uskotaan olevan täydessä tutkimuskäytössä vuoden loppuun mennessä.
Pohjoismaiden huippututkimusta
Puhdastilaa käytetään mikro- ja nanoelektroniikan tutkimuksessa. Tutkimuslaitteisto käsittää cmos-tekniikkaan perustuvan valmistuslinjan integroiduille piireille ja mems-komponenteille sekä erikoislaitteita muun muassa piin ja piioksidin syväetsaukseen. Tilassa on lisäksi materiaalitutkimukseen tarvittavia laitteita erityisesti nanoelektroniikan tarpeisiin.
Micronova on VTT:n ja Teknillisen korkeakoulun yhteinen mikro- ja nanoteknologian osaamiskeskittymä. Espoon Otaniemessä sijaitsevassa Micronovassa työskentelee yli 300 tutkijaa, ja siellä on pohjoismaiden suurimmat mikro- ja nanoelektroniikan tutkimukseen liittyvät puhdastilat. Kansainvälistä huippututkimusta tehdään yhdessä yliopistojen, tutkimuslaitosten ja yritysten kanssa.
